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44L四氟化碳四氟化碳，又名四氟甲烷，化學(xué)式為CF4，它既可以被視為一種鹵代烴(有機(jī)物)，也可以被視為一種無(wú)機(jī)化合物，常溫常壓下為無(wú)色氣體，不溶于水，溶于苯和氯仿，主要用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝。
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